您好,歡迎來到同林小型臭氧發生器站點,展示實驗用臭氧發生器、實驗室臭氧消毒機、進口臭氧發生器等產品。

移動臭氧發生器_壁掛式臭氧空氣消毒機-北京同林科技

新聞中心

您當前所在位置: 主頁 > 新聞中心 > 臭氧知識

Savannah 臭氧發生器 – 用于研發的熱力原子層沉積 (ALD)

發布日期:2022-01-19  瀏覽次數:

Savannah 臭氧發生器 – 用于研發的熱力原子層沉積 (ALD)(1)

Veeco 是全球研究和行業原子層沉積 (ALD) 系統的先進供應商,提供可訪問、經濟實惠并具有原子量級準確性的綜合服務和多功能交鑰匙系統。薄膜沉積是我們的專長。我們的 Savannah? 系列薄膜沉積工具展示了這些能力。

Savannah? 已成為全球大學參與原子層沉積 (ALD) 并尋找經濟實惠且穩健平臺的研究人員的首選系統。在過去十年中,我們已經交付了數百個此類系統。Savannah? 對前體的高效使用和節能功能大幅降低了操作薄膜沉積系統的成本。

主要功能包括:

  • 原位橢圓偏振術
  • 原位 QCM
  • 自組裝單層
  • 2 秒周期時間
  • 集成臭氧
  • 低蒸汽壓力沉積
  • 批處理
  • 手套箱集成

Savannah? 配備高速氣動脈沖閥,可實現我們獨特的 Exposure Mode?,用于超高縱橫比基質的薄膜沉積。這種經驗證的精密薄膜涂層方法可用于沉積橫向比大于 2000:1 的基質上的保形、均勻薄膜。Savannah? 有三種配置:S100、S200 和 S300。Savannah? 能夠保持不同尺寸的基質(S300 高達 300mm)。Savannah? 薄膜沉積系統配備加熱前體線和增加 很多 6 條線的選項。Savannah? 能夠處理氣體、液體或固體前體。

Savannah? G2 技術規格

基質尺寸Savannah S100: 很多 100 mm
Savannah? S200: 很多 200 mm
Savannah? S300: 很多 300 mm
尺寸(寬 x 深 x 高)Savannah S100:585 x 560 x 980 毫米
Savannah? S200:585 x 560 x 980 毫米
Savannah? S300:686 x 560 x 980 毫米
帶有可拆卸面板和可鎖定前體門的白色粉末涂層的鋼板
操作模式Continuous Mode?(高速)或 Exposure Mode?(超高縱橫比)
功率115 VAC 或 220 VAC,1500 W(不包括泵)
控制LabView?,Windows? 7,Lenovo 筆記本電腦,USB 控制
很大基質溫度S100:RT – 400 °C
S200:RT – 350 °C
S300:RT – 350 °C
沉積均勻性(Al2O3) < 1% (1σ)
周期時間每周期 <2 秒(AL2O3在 200 °C 下)
真空泵Alcatel 2021C2 – 14.6 CFM
兼容性潔凈室級別 100 兼容
合規性CE、TUV、FCC
前體輸送系統,端口2 線標準, 很多 6 條線可用
每條線都適合固體、液體和氣體前體
線可獨立加熱至 200 °C
前體輸送系統,閥門行業標準高速原子層沉積 (ALD) 閥,響應時間 10 毫秒
前體氣瓶獨立加熱 50 ml 不銹鋼氣瓶,更大氣瓶可選
承載器/排氣氣體N2質量流量控制,100 SCCM
選項低蒸汽壓力輸送 (LVPD) 系統
臭氧發生器
用于晶片盒或 3D 物體的圓頂蓋
手套箱接口
原位橢圓偏振術
原位石英晶體微平衡 (QCM)
自組裝單分子膜 (SAM)
顆粒涂層


主站蜘蛛池模板: 交性大片欧美网| 国产AV天堂无码一区二区三区| 99精品国产在热久久婷婷| 故意打开双腿让翁公看| 久久精品国产精品亚洲蜜月| 欧美成人一区二区三区在线视频| 伊人久久大香线蕉综合影院首页| 精品视频一区二区三三区四区| 国产午夜精品一区二区三区不卡| 青青热久久久久综合精品| 国语高清精品一区二区三区| аⅴ天堂中文在线网| 成人午夜私人影院入口| 久久久久亚洲av成人网| 日韩欧美久久一区二区| 亚洲av日韩综合一区在线观看| 欧美色欧美亚洲另类二区| 亚洲色无码国产精品网站可下载| 第一次处破女18分钟高清| 啊灬啊灬啊灬深灬快用力| 草莓视频在线免费播放草莓视频在线免费播放 | 无码A级毛片日韩精品| 久久久无码精品亚洲日韩按摩 | 亚洲人成电影院| 欧美性猛交xxxx乱大交丰满| 亚洲欧美在线综合一区二区三区| 狠狠色狠狠色综合伊人| 免费一级一片一毛片| 篠田优在线一区中文字幕| 午夜dj在线观看免费高清在线| 美国一级毛片免费看| 四虎国产精品永久地址99| 色噜噜狠狠色综合日日| 国产乱人免费视频| 色综合天天娱乐综合网| 国产丰满老熟女重口对白| 蜜桃麻豆www久久囤产精品| 国产亚洲人成无码网在线观看| 里番acg全彩本子同人视频 | china成人快色| 大地资源在线资源免费观看|