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住友臭氧發(fā)生器 SGRP-03JS

發(fā)布日期:2022-04-19  瀏覽次數(shù):

住友臭氧發(fā)生器 SGRP-03JS


住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池,通過電力將氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成,以防止金屬污染達(dá)到極低水平。臭氧濃度超過400g/(n),是市場上的上等產(chǎn)品。在半導(dǎo)體、FDP等電子器件材料的干濕加工過程中受到了眾多客戶的高度重視。

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具體信息:

型號(hào):SGRP-03JS

臭氧氣體流速:350g/m3(N)

臭氧氣體供應(yīng)壓力:15L/min (5L/min x 3Line)

冷卻水溫度:20°C±2°C

尺寸:W570mm x D850mm x H1,870mm

重量:360kg

功率:200-220VAC, 3-phase


型號(hào):SGRF-03JA

臭氧氣體流速:400g/m3(N)

臭氧氣體供應(yīng)壓力:20L/min

冷卻水溫度:5°C

尺寸:W570mm x D850mm x H1,836mm

重量:350kg

功率:200-220VAC, 3-phase


住友臭氧發(fā)生器應(yīng)用:

半導(dǎo)體器件

Si/復(fù)合晶圓

FDP(LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED)

光罩

發(fā)光二極管

20220419181022.jpg

優(yōu)勢(shì):

能夠通過單獨(dú)控制向大容量臭氧氣體提供一條管線或多條管線。

高濃度;高達(dá)400g/m3(N)

產(chǎn)品線豐富;小到大容量。

高壓;*大0.3Mpa(SGRP系列)

無氮摻雜(SGRF系列)

高壓耐受,長壽命放電單元

快速啟動(dòng),快速響應(yīng)

與臭氧監(jiān)測儀(閉環(huán)控制)集成的穩(wěn)定濃度

CE、NRTL、半標(biāo)準(zhǔn)適用

管道材料;從316LSS或PFA中選擇


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