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三菱高濃度臭氧氣體發生系統介紹

發布日期:2024-03-27  瀏覽次數:

三菱高濃度臭氧氣體發生系統介紹

特征:

  • 采用氮氣不添加法產生超高濃度臭氧氣體,達到400g/m的超高、行業領先濃度3(北)
  • 通過采用不添加氮氣的方法來清潔臭氧氣體(其中氮氧化物的產生限制在其極限*)并保持所需的質量,從而限制金屬污染物的產生,從而使圖案小型化和提高薄膜質量。
    *氮氧化物濃度0.01ppm以下(與之前型號相比為1/10000)
  • 獨特的超短間隙放電技術的繼承,具有出色的啟動特性、穩定性和冷卻效率。
  • 符合國際標準,符合CE標志和SEMI-S2
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H系列

在不使用氮添加劑的情況下產生行業領先的超高濃度臭氧氣體,主要用于半導體和制造工藝。

P系列

僅使用高純度氧氣產生清潔臭氧氣,主要用于半導體和制造工藝,不含氮添加劑。

C系列

產生適用于半導體制造工藝的清潔臭氧氣體

N系列

使用普通氧氣產生高濃度臭氧氣體。主要應用包括半導體制造工藝、化學工藝、食品制造工藝和水處理。

臭氧水生產系統

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U系列

制造適用于半導體制造工藝的清潔臭氧水。主要應用包括半導體制造工藝和精密機器零件清洗。

 

母線粘接機

特征

  • 將導線直接粘接到薄板玻璃上。
  • 無需加熱、焊接材料或耗材即可形成母線排。
  • 接觸電阻低,電性能好。
  • 原始技術可以減少對玻璃的損壞。

基本規格

  • 引線的自動張力控制。
  • 監控系統(制造條件、粘接痕跡)。
  • 可更換的吸頭(工具)
  • 砧座和固定結構(減少對玻璃的損壞)。

粘接成就

  • 玻璃厚度[mm]:0.65~4
  • 玻璃的表面材料
    • 玻璃原料
    • 沉積薄膜(ITO、ZnO、Ag、Cr、Al、Ti、Ni等)
  • 平板玻璃尺寸 [mm]
    • □100、□300、500 x 1000、600 x 1200 等

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同林高濃度臭氧發生器(臭氧濃度可達300mg/L)


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