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美國API 452型過程臭氧測量模塊

發布日期:2023-02-13  瀏覽次數:

美國API 452型過程臭氧測量模塊

 - 適合應用于半導體行業 -


452是基于微處理器的、能夠精準可靠地測量氧氣或空氣中的高濃度臭氧的氣體測量模塊。 測量原理是基于254nm波長的紫外吸收法。讀數的單位可在重量百分比和克/立方米中選擇。溫度補償和高達300kPa的壓強補償也是該系列儀器的特點。

儀器緊湊的設計使得它在工業過程中的安裝更為簡單。氣體路徑設計為直線(無轉角或彎管,能夠有效減少暴露表面積。452的測量模塊只對窄波段光譜敏感,無需紫外濾光器,而紫外濾光器會被紫外線或濕度所影響,從而導致測量結果不準確。 452中使用了兩個探測器:一個用于臭氧測量,另一個用于紫外燈強度變化的補償。這種設計使得測量模塊可在沒有維護或校準的情況下長時間運行。測量模塊內置模擬輸出、RS485/RS232輸出和4個光隔離狀態輸出以顯示測量模塊運行狀態。

輸入/輸出和電源輸入連接是通過15針 D-sub 接頭實現的。在高純度應用中,452支管可采用316L不銹鋼、10Ra表面粗糙度、1/4” VCR接頭。

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參數

量程: 0-5, 0-10, 0-15, 0-20, 0-25% w/w,

0-100, 0-200, 0-300, 0-400, 0-500 g/Nm3

壓力補償: 很高300kPa絕對壓強

耐壓 :115 psia

重復性: 1%滿量程

響應時間: T95<2秒

零點漂移: 1% 滿量程/月 (不累積)

溫度范圍 :5-45°C

接觸材料 :316L不銹鋼,聚四氟乙烯,藍寶石

配件: 1/4” 不銹鋼接合(管道)或高純度VCR?或HTC?配件,316L,10Ra表面粗糙度

流量 :0.5 到 25.0 LPM

電源 :+15 volts @ 1.5A 很大

指示器 :4位LED顯示

模擬輸出 :0-5V滿量程

零點校準 :觸點閉合輸入

數字輸出 :測量模塊正常, 燈強度弱, 測量室污染, 

無效讀數(光電隔離) 

串行數據接口 :RS232 或 RS485

尺寸 (高x寬x長) :6.71” x 5.13” x 2.16”

 (170.4 mm x 130.3 mm x 54.8 mm)

包含配件

重量 :1.27 千克

認證: CE 和 RoHS

保修: 1 年


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