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韓國(guó)半導(dǎo)體用臭氧發(fā)生器CN-1介紹

發(fā)布日期:2023-05-17  瀏覽次數(shù):

韓國(guó)半導(dǎo)體用臭氧發(fā)生器CN-1介紹

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優(yōu)點(diǎn)

產(chǎn)生高濃度臭氧

臭氧濃度220mg/L(約15%)

流量調(diào)節(jié)0~2[LPM]

臭氧出口壓力0~2kg/c㎡

原料空氣氧氣、氮?dú)?/p>

可調(diào)節(jié)壓力0.5~1.2kg/c㎡

冷卻式水冷式專用

其他氧氣發(fā)生器外置,需要外部冷卻水供應(yīng),防逆流(可選)


參數(shù)

型號(hào)名稱:CN-1

臭氧濃度:220g/?  氧氣 1.0 LPM 標(biāo)準(zhǔn)

功耗:MAX 0.7KW (氧氣發(fā)生器,冷卻器單獨(dú))

電源規(guī)格:220V 1Φ 60Hz

冷卻方法:僅限水冷式

冷卻液需求:3LPM 或更高版本

流量控制:Flow Controller

控制臭氧濃度:Digital Volume


顯示設(shè)備 

1. 液晶屏顯示 -RUN,PURGE,ERROR,PV[%],SV[W]

2. 測(cè)量?jī)xLCD:顯示臭氧生成濃度值

3. 控制器:在雷莫特操作時(shí)設(shè)置目標(biāo)臭氧濃度

4. 流控制器:設(shè)置供氣流量

5. O<> 壓力表:臭氧發(fā)生器內(nèi)部壓力指示

控制臭氧的產(chǎn)生:功耗控制在 12% 到

進(jìn)出口:1/4"(6.3Φ)

主材:Stainless Steel, Aluminum

尺寸 (WXDXH):479 × 446 × 843(mm)

產(chǎn)品重量:約 60 Kg

操作條件

? 正常溫度 (0°C 至 30°C))

? 通風(fēng)良好且無(wú)濕氣的地方


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